【设计施工】北京航空航天大学合肥创新研究院（量子信息科学国家实验室）洁净实验室设计施工项目
项目背景
北京航空航天大学合肥创新研究院是合肥北航科学城核心科研载体，聚焦量子信息、微纳科技、人工智能等前沿领域。为支撑量子通信、量子计算等尖端研究，研究院需建设高标准的量子信息科学国家实验室。合肥诚悦实验设备有限公司凭借多年尖端实验室EPC经验，承接1800㎡实验室的规划、建设及系统集成，涵盖洁净环境、精密设施及智能化管控体系，为量子科研提供“零干扰”实验环境。
项目需求
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超净环境：万级洁净室，温湿度控制（±0.5℃/±3%RH），满足量子器件制备需求。
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精密防震：微振动控制（振动速度≤1μm/s），保障光学平台、量子干涉仪等高敏设备稳定运行。
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电磁屏蔽：全频段电磁屏蔽室（屏蔽效能≥80dB），消除外界电磁干扰。
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多功能分区：集成黄光实验室（光刻区）、超净间、低温实验区及配套研发空间。
诚悦解决方案
1. 实验室设计与工程实施
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功能分区规划：
区域 技术标准 核心设备 千级洁净室 ISO 6级洁净度，FFU层流送风+高分子过滤器 量子芯片制备设备、电子束光刻机 黄光实验室 防静电环氧地面，黄光照明（波长580nm），温控±0.3℃ 光刻胶涂布机、掩膜对准曝光系统 电磁屏蔽室 双层铜网屏蔽结构，滤波电源+波导通风窗 量子通信测试系统、超导量子比特实验装置 低温实验区 防冷凝保温层，液氮/氦气管道预埋 稀释制冷机、超导微波谐振腔 -
动线优化：
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人员流：更衣→风淋→洁净走廊→操作区，单向流动减少污染。
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物料流：独立传递窗+气闸室，实现物料无尘传输。
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2. 关键系统建设
| 系统类别 | 技术方案 | 性能指标 |
|---|---|---|
| 洁净系统 | MAU+FFU+高效过滤器（H14），压差梯度控制（5-10Pa） | 洁净度：≥0.5μm粒子≤3520颗/m³（ISO 6级） |
| 精密空调 | 恒温恒湿机组（±0.5℃/±3%RH），变频控制+三级过滤 | 温度均匀性≤0.3℃，湿度波动≤2% |
| 防震系统 | 独立地基+气浮隔振平台，振动传递率≤1% | 振动速度≤0.5μm/s（1-100Hz） |
| 供气系统 | 集中供氧/氮气管道（316L不锈钢），纯度≥99.999%，压力波动≤0.5% | 终端压力0.4-0.8MPa可调 |
3. 智能化管控平台
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环境监控系统：
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实时监测洁净度、温湿度、压差、VOCs，数据可视化大屏展示。
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异常报警自动启动备用系统（如应急送风、备用制冷机组）。
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设备物联：
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关键设备（光刻机、制冷机）运行状态远程监控，预测性维护提示。
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能耗分析模块，优化空调、通风系统能效，节能25%以上。
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项目成果
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技术达标：
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洁净室一次性通过第三方检测（GB 50591-2010）。
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电磁屏蔽效能≥85dB（1GHz），达到GJB 5792-2006军标要求。
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科研赋能：
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支撑量子密钥分发、拓扑量子计算等3项国家重点课题，实验效率提升40%。
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黄光实验室光刻精度提升至10nm级，满足二维材料器件制备需求。
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客户评价：
“诚悦团队将复杂的量子实验室需求转化为精准的工程方案，其专业性与细节把控令人信服！”
——北航合肥研究院量子实验室负责人
诚悦核心优势
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尖端实验室EPC能力：
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服务中科大、清华等高校量子实验室项目，累计交付超50个高等级洁净工程。
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自主研发智能风量平衡系统。
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全产业链协同：
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联合德国Binder、美国Terra Universal等品牌，确保关键设备国际领先性能。
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自有14000㎡生产基地，定制化生产防静电台柜、电磁屏蔽构件。
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联系我们
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电话：0551-62981198
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地址：合肥市华南城紫蓬工业园
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官网：www.hfchengyue.com
关键词：量子信息实验室、千级洁净室、电磁屏蔽工程、黄光实验室设计、实验室EPC服务
案例总结
合肥诚悦以“精密环境+智能管控”为核心，为北航合肥研究院打造国际一流的量子信息科学实验室，助力中国量子科技从理论研究迈向工程化突破，彰显“大国重器”背后的专业支撑力。
（注：文中技术参数基于项目设计标准，实际数据以验收报告为准。）
